Parc instrumental

Biophy Research dispose d’un large éventail d’outils pour l’analyse des surfaces et vous apportera son savoir-faire et ses conseils dans le choix des techniques à utiliser en fonction de la problématique à résoudre.

ToF SIMSTop

Iontof  - ToF 5

  • Haute résolution en masse (< 10.000)
  • Haute précision de masse (< 10 ppm)
  • Détection des hautes masses (< 15000 D)
  • Profondeur d'analyse de 0,2 - 0,5 nm (1 monocouche)
  • Haute résolution latérale (jusqu'à 0,1 μm)
  • Sources d'ions multiples : Bi et clusters (Bi3, Bi5) pour l'analyse ; O2 et Cs pour l'abrasion
  • Analyse de tout matériau compatible UHV : isolants (Flood gun), polymères, produits organiques, biologiques, poudres, verres, semi-conducteurs,..

D SIMSTop

Cameca - IMS 7F

  • Limite de détection : du ppm au ppb selon les éléments
  • Profondeur d'analyse : 2 ou 3 premières couches atomiques
  • 2 sources d'ions : césium et duoplasmatron
  • Zone analysée balayage : jusqu'à 500 µm x 500 µm
  • Résolution latérale : 100 nm
  • Vitesse de gravure : du nm/min au µm/min

XPSTop

Scienta - XPS 200

  • Résolution énergétique : 0,45 eV (FWHM) sur Ag3d5/2 et 0.8 eV (FWHM) sur O-C=O (PET) avec source AlKα monochromatisée
  • Reproductibilité meilleure que 3 %
  • Résolution angulaire de 1°
  • Profondeur d'analyse de 2 à 8 nm
  • Seuil de détection : 0.3 % atomique, en fonction des éléments
  • Analyse sous ultra-vide (de l'ordre de 10-8 Pa, 10-10 torr).
  • Neutralisation de charges pour l'analyse des isolants par électrons de basse énergie (floodgun)

XPSTop

Kratos - AXIS NOVA (Micro XPS)

  • Résolution énergétique : 0,48 eV (FWHM Ag3d5/2) sur O-C=O (PET) avec source AlKα monochromatisée
  • Reproductibilité meilleure que 3 %
  • Résolution angulaire de 1°
  • Profondeur d'analyse de 2 à 8 nm.
  • Résolution spatiale de 3 µm en mode imagerie; 10 µm en mode microanalyse
  • Canon Ar+ (500 eV ... 5 keV) pour décapage et profil de distribution en profondeur
  • Neutralisation de charges pour l'analyse des isolants (lentille d'immersion magnétique)
  • Seuil de détection : 0.3 % atomique, en fonction des éléments.
  • Analyse sous ultra-vide (de l'ordre de 10-8 Pa, 10-10 torr).

TEMTop

FEI - Titan 80-300

  • Analyse sous vide (pression comprise entre 10-5 mbar et 10-8 mbar selon la position dans la colonne)
  • Analyse de tout type d’échantillons solides compatibles avec l’ultravide
  • Source : FEG Schottky
  • Tension d’accélération : 80 kV à 300 kV
  • Résolution latérale ultime : 0.1 nm (300 kV)
  • Grandissement maximum : x 1.250.000
  • Détecteurs/filtre : EDAX, Caméra CCD Gatan Ultrascan 1000, détecteurs axial (STEM-BF) et annulaire (STEM-DF), détecteur annulaire à grand angle (STEM-HAADF), filtre Gatan GIF
  • Epaisseur de l’échantillon : < 150 nm
  • Résolution en EELS : 0.25 eV
  • Résolution en EDX : ‹ 130 eV sur Mn K

SEMTop

TESCAN - FERA 3 XM

  • Canon à électron : High brightness Schottky emitter
  • Résolution en mode HV : 1,2 nm à 30kV
  • Résolution mode LV : 1,5 nm à 30kV.
  • Résolution BSE : 2 nm à 30kV
  • Grandissement : à 30kV : 1x – 1 000 000x
  • Champ maximum : 6,0 mm (dist. de travail de 9 mm) ; 17 mm (dist. de travail de 30 mm)
  • Tension d’accélération : 200 V à 30 kV
  • Courant de pointe : 2 pA à 200 nA

AESTop

PHI - Auger Nanoprobe 700

Spécifications
  • Résolution latérale : ~7 nm
  • Profondeur d’analyse : ~3 nm
  • Tous les éléments sont détectables sauf l’hydrogène et hélium
  • Inadaptée aux échantillons isolants
  • Plus faible sensibilité aux éléments lourds
  • Seuil de détection : 0.3 % atomique, en fonction des éléments
  • Analyse sous ultra-vide (de l'ordre de 10-8 Pa 10-10 torr)

AFMTop

BRUKER - Nanoscope V multimode

  • Balayage (x,y) de quelques nm² jusqu'à 170x170 µm² et jusqu'à 5 µm en z
  • Résolution atomique et résolution en z de l'ordre de la fraction de nm
  • Analyse MultiMode :
  • Mode Contact : morphologie, friction, mesure de force d'adhésion, fonctionnalisation de la pointe, indentation
  • Mode résonant/tapping : morphologie, contraste de phase
  • Mode Harmonix (module d'Young, adhésion, constante de raideur,...)
  • Mode PeakForce

AFMTop

BRUKER -  Dimension 3100

  • Balayage (x,y) de 100 nm jusqu'à 140x140 µm² et jusqu'à 5 µm en z
  • Résolution en z de l'ordre de la fraction de nm
  • Analyse MultiMode : mode contact, mode tapping
  • Platine de 200 mm
  • Table x,y permettant la programmation de zones à imager et le repositionnement
  • Module d'étirement de films polymères sous AFM
  • Modules électriques (SCM, SSRM, TUNA)

Profilomètre 3D Top

  • Aire observable max. : quelques mm²
  • Résolution verticale : 0.1 nm
  • Résolution latérale : 200 nm
  • Déplacement vertical maximal pendant la mesure : 5 µm
  • Mesures à l'air

FTIRTop

Nicolet -  FT 850

  • Domaine d'analyse : de 4000 à 400 cm-1 (résolution 4 cm-1)
  • Analyses en transmission (Films, poudres)
  • Analyses en Réflexion Totale Atténuée – mode ATR  (couches minces sur substrat opaque, pigments, poudres, polymères)
  • Microscopie FTIR en transmission ou en réflexion pour des analyses localisées (100×100 µm²)

RamanTop

Horiba Jobin-Yvon -  LabRam HR

  • Excitations lasers UV (325 nm), visible (488 nm, 514 nm, 633 nm), proche infrarouge (785 nm)
  • Microscope ouvert ; objectifs 10X, 50X, 100X, 50X SLWD
  • Trou confocal motorisé 0-1000 μm
  • Réseaux 300 tr/mm, 600 tr/mm, 1800 tr/mm, 2400 tr/mm
  • Résolution latérale : diamètre de spot laser de ≈ 700 nm (514 nm, obj 100X - NA 0.90)
  • Résolution spatiale : dépend de la longueur d'onde de travail et de la nature de l'échantillon. Elle est améliorée en réduisant la taille du trou confocal.
  • Résolution spectrale 0.35 cm-1/pixel (633 nm, réseau 1800 tr/mm)
  • Analyse ponctuelle, profil, cartographie
  • Platine micrométrique XY motorisée (pas minimum 0.1 μm), dispositif micrométrique Z motorisé (pas minimum 0.5 μm)

FIB Plasma XeTop

Orsay Physics - iFIB

  • Résolution : 25 nm at 30kV at SEM-FIB coincidence point
  • Grandissement : minimum 150x at coincidence point and 10 kV (corresponding to 1 mm view field), maximum 1,000,000x
  • Tension d'accélération : 3 kV to 30 kV
  • Source : Xe Plasma
 

Cryo-microtomeTop

LEICA – UC6-FC6

  • Table anti-vibration avec supports ergonomiques
  • Loupe binoculaire MZ 6 (x8 – x51) avec écran anti-souffle
  • Pupitre de contrôle avec écran tactile.
  • Ultramicrotome UC6 :
    fenêtre de coupe réglable de 0.2 à 15 mm
    vitesse de coupe de 0.05 à 100 mm/seconde
    épaisseur de coupe de 0 à 15 µm
    avance de l’échantillon : 200 µm
    avance motorisée du couteau sur 10 mm
    éclairage par LED : direct, indirect, transillumination par le bloc
  • Cryo-ultramicrotome FC6 :
    chambre pour cryo-ultramicrotomie
    réservoir de 500 ml de LN2
    plage de température de -15°C à -185°C
    système antistatique
    éclairage par LED : direct, indirect
    fonction d’étuvage automatique